超纯水,是一般工艺很难达到的程度，采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理四大步骤，多级过滤、高性能离子交换单元、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法

纯水设备，目前的主要工艺流程 　　

        1.预处理----复床 ----混床---抛光树脂 　　
        2.预处理----反渗透---混床---抛光树脂 　　
        3.预处理----反渗透----CEDI膜块----抛光树脂

中国国家实验室分析用水标准（GB6682-92）《分析实验室用水规格和实验方法》： 　　

    指标名称 一级水 二级水 三级水 　　
    1级水>10MΩ；2级水>1MΩ；3级水>0.2MΩ 　　
    PH值范围（25℃） - - - - 5.0-7.5 　　
    比电阻MΩ.cm@25℃> 10 1 0.2 　　
    电导率（25℃）us/cm≤ 0.1 1 5 　　
    可氧化物[以O计]mg/L -- 0.08 0.40 　　
    吸光度（254nm,1cm光程）≤ 0.001 0.01 -- 　　
    二氧化硅（mg/L） 0.02 0.05 -- 　　
    蒸发残渣（mg/L） -- 1.0 2.0